问题描述：
自对准硅化物是源、漏、栅等的互连关键材料，但是，在小尺寸下，却面临很多问题，请问当前的自对准硅化物材料，在小尺寸下面临的问题，以及当前的解决方案。
问题解答：
自对准硅化物材料这个旅游问答期待您的解答，请登录账号或关注微信公众号回答这个问题。
上海旅游网